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フォトリソグラフィー用薬剤

フォトリソグラフィー用薬剤

フォトリソグラフィー用薬剤製品一覧

  • レジスト剥離剤

    セミクリーンEP-10

    準水系有機アルカリタイプ、メタルフリー。金属不純物による汚染懸念が少ない。

  • レジスト剥離剤

    セミクリーンEP-AF5

    無機アルカリタイプ。金属腐蝕抑制がありアルミ配線に適用可能。

  • レジスト現像液

    セミクリーンDL-A10

    無機アルカリタイプ。即効性が高く、シャープな現像が可能。

  • レジスト現像液

    セミクリーンDL-P1

    無機アルカリタイプ。金属腐蝕抑制がありアルミ配線に適用可能。

関連情報

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